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了解聚對(duì)二甲苯沉積工藝,聚對(duì)二甲苯防水薄膜
發(fā)布時(shí)間:2021-04-07 23:35:16 點(diǎn)擊次數(shù):2502

聚對(duì)二甲苯薄膜具有高透明度、低介電性能、生物相容性、防水、防潮、防酸堿等特性,在許多行業(yè)中廣受歡迎。以下就有百騰小編簡單為大家介紹:了解聚對(duì)二甲苯沉積工藝聚對(duì)二甲苯防水薄膜。

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制備聚對(duì)二甲苯常用的方法

聚對(duì)二甲苯常用的方法有涂層法和真空氣相沉積法。涂層法是將單體溶解在有機(jī)溶劑中,配成一定比例的溶液通過浸涂、噴涂或旋涂等方法制備薄膜采用催化劑或升溫的方法聚合成聚對(duì)二甲苯,氣相沉積法與溶液成膜法相比具有很多優(yōu)點(diǎn):

 

第一、氣相沉積法中間過程不引入溶劑或催化劑,薄膜中無任何雜質(zhì)而溶液成膜法必須使用化學(xué)溶劑,盡管經(jīng)過后續(xù)處理,薄膜中仍殘存溶劑或催化劑;

 

第二、氣相沉積法可在室溫條件下成膜,而溶液成膜法需進(jìn)行催化成升溫聚合;

 

第三、氣相沉積法制備的薄膜無內(nèi)應(yīng)力、無針孔在孔縫處也能成膜,而溶液成膜法由于液體的表面張力薄膜不能覆蓋微孔或狹縫內(nèi)并且溶劑蒸發(fā)會(huì)在薄膜內(nèi)留下針孔。

 

制備聚對(duì)二甲苯的原料是對(duì)二甲苯的環(huán)二體(C1H1)。在真空中,對(duì)二甲苯環(huán)二體400K升華,950K附近環(huán)二體裂解這種單體在真空度小于1.33X10-2Pa、溫度低于300K的固體表面

 

化學(xué)氣相沉積(CVD)工藝

聚對(duì)二甲苯涂層工藝是使用化學(xué)氣相沉積(CVD)工藝在真空下沉積的。聚對(duì)二甲苯的(CVD)工藝分為三個(gè)步驟(升華,熱解,沉積)。首先,將二聚體(具有兩個(gè)重復(fù)單元的前體)升華。下一步,在高于> 500°C的溫度下通過熱解將二聚體裂解為兩種單體。最后,單體在基材表面(以及腔室表面)上聚合,形成線性聚合物鏈。最后一步在室溫下進(jìn)行,得到聚對(duì)二甲苯保形涂層。

 

雖然聚對(duì)二甲苯涂層通常很薄,但它們的沉積速度也相對(duì)較慢。聚對(duì)二甲苯沉積最快的變體-聚對(duì)二甲苯C-通常以每小時(shí)0.2密耳或5微米的速率沉積。這意味著75微米的涂層大約需要15個(gè)小時(shí)。聚對(duì)二甲苯N和D沉積較慢。

 

綜上所述,該氣相沉積過程可能需要幾個(gè)小時(shí)到24小時(shí)以上,具體取決于我們要達(dá)到的涂層厚度。達(dá)到該厚度所需的時(shí)間由二聚體質(zhì)量,沉積速率,溫度和其他因素控制。

 

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