MEMS（全稱Micro Electromechanical System），即微機電系統(tǒng)，是集微傳感器、微執(zhí)行器、微機械結(jié)構(gòu)、微電源微能源、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統(tǒng)，是一個獨立的智能系統(tǒng)，可大批量生產(chǎn)，其系統(tǒng)尺寸在幾毫米乃至更小，其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米甚至納米量級。對于高精尖技術(shù)的MEMS傳感器產(chǎn)品而言，產(chǎn)品上的元器件線路和元器件對于外界環(huán)境較為敏感；派瑞林（Parylene）膜層在惡劣環(huán)境和高低溫環(huán)境下，Parylene納米鍍膜技術(shù)如何更好的為MEMS微電子產(chǎn)品提升鍍膜應(yīng)用？

Parylene納米鍍膜技術(shù)在MEMS及半導(dǎo)體產(chǎn)品上的應(yīng)用

Parylene的真空氣相沉積工藝不僅和微電子集成電路制作工藝相似，而且所制備的Parylene涂層介電常數(shù)也低，還能用微電子加工工藝進行刻蝕制圖，進行再金屬化，因此Parylene不僅可用作防護材料，而且也能作為結(jié)構(gòu)層中的介電材料和掩膜材料使用，經(jīng)Parylene涂敷過的集成電路芯片，其25um細直徑連接線，連接強度可提高5-10倍。

Parylene能在0.2um厚時就完全沒有針孔，5um時就能耐1000V以上直流擊穿電壓，又是摩擦系數(shù)很低的一種自潤滑材料，化學(xué)惰性和阻隔性能也好，因此在微電子機械系統(tǒng)中，除了作電介質(zhì)材料外，還用作微型傳動機構(gòu)和微型閥門的結(jié)構(gòu)材料和防護材料。

Parylene納米鍍膜技術(shù)在LED產(chǎn)品上的應(yīng)用

LED顯示屏和燈條廣泛應(yīng)用于交通道路、戶外廣場、機場等潮濕惡劣環(huán)境中，勢必要對LED產(chǎn)品的防護等級有了更高的要求。派瑞林涂層與傳統(tǒng)的灌膠方式相比，膜層更薄且均勻、散熱性更好、不易龜裂、符合國際環(huán)保要求、且可達到國際規(guī)范的IP55-IP68的防塵防水要求，因此近年來派瑞林涂層廣泛應(yīng)用于LED產(chǎn)品的防護上，使其具有更好的防潮、防水、耐酸堿、耐腐蝕等功能。

Parylene納米鍍膜技術(shù)利用化學(xué)氣相沉積工藝（CVD）。CVD工藝應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)的外延生產(chǎn)，整個過程是氣態(tài)反應(yīng)，又在真空條件下進行，因而可以獲得非常均勻的涂層，達到其它方法難以實現(xiàn)的同形性。過程主要有三步：

1.真空150℃左右條件下，固態(tài)派瑞林材料升華成氣態(tài)。

2.真空680℃左右條件下，將氣態(tài)雙裂解成活性單體。

3.真空常溫下，氣態(tài)單體在基體上生長聚合。

Parylene納米鍍膜技術(shù)在電路板上的應(yīng)用

隨著印制電路組件日益向小型化和高密度方向發(fā)展，給印制電路組件的三防措施提出了新的要求。存在于傳統(tǒng)三防之中的涂層厚且不均、棱角處涂層較薄、介電強度不夠、有針孔和氣泡等弊端尤為突出。

Parylene涂敷屬于氣相沉積的過程，氣態(tài)的小分子能滲透到元器件的細小縫隙，均勻的形成一層無針孔無氣泡的防護膜，更好的起到防潮、防水、耐腐蝕的效果。

另外，Parylene涂層厚度較?。ㄍǔ?/span>25um）,對電路板表面絕緣電阻影響不大，且對元器件工作時所產(chǎn)生的熱量消散也非常有利。另外由于分子結(jié)構(gòu)對稱性較好，使它在較高的頻率下仍有較小的介質(zhì)損耗和介電常數(shù)，它的這種高頻低損耗特性使它為高頻微波電路的可靠防護創(chuàng)造了條件。

綜上所述，MEMS微電子產(chǎn)品通過Parylene真空氣相鍍膜技術(shù)更好的提升產(chǎn)品防護性能，有效提升產(chǎn)品市場競爭力。

百騰Penta精耕鍍膜行業(yè)近30年，我們將會持續(xù)為大家提供Parylene真空氣相鍍膜技術(shù)行業(yè)資訊和相關(guān)問題解答，百騰Penta開發(fā)的PVD真空鍍膜機，CVD真空鍍膜機，XeF2二氟化氙蝕刻機，真空脫氣爐，二氟化氙材料、派瑞林材料，提供派瑞林(Parylene)納米涂層加工。并可根據(jù)不同需求設(shè)計定制派瑞林真空鍍膜設(shè)備和與其配套的相關(guān)設(shè)備系統(tǒng)，幫助企業(yè)產(chǎn)品提升更好防護品質(zhì)。