派瑞林（Parylene）是一種聚對(duì)二甲苯的聚合物。用獨(dú)特的真空氣相沉積工藝制備，由活性小分子在基材表面“生長(zhǎng)”出完全敷形的聚合物薄膜涂層。派瑞林膜層具有均勻性、無針孔、透明無應(yīng)力、不含助劑、不損傷工件、有優(yōu)異的電絕緣性和防護(hù)性，具有防潮、防霉、防鹽霧涂層材料。百騰小編分享：派瑞林鍍膜設(shè)備及應(yīng)用知多少？

一、派瑞林CVD化學(xué)氣相沉積工藝

派瑞林（Parylene）采用的是派瑞林CVD化學(xué)氣相沉積工藝。即派瑞林（Parylene）原料在真空下裂解聚合成氣態(tài)分子，并沉積于產(chǎn)品表面，形成一層致密無針孔的納米膜層，更好的保護(hù)產(chǎn)品。該技術(shù)廣泛應(yīng)用于航空航天、半導(dǎo)體、電子醫(yī)療等產(chǎn)品鍍膜防護(hù)領(lǐng)域。

派瑞林化學(xué)氣相沉積工藝是將原料放入真空納米涂層設(shè)備的蒸發(fā)室，通過氣相反應(yīng)沉積出固態(tài)物質(zhì)，因此把派瑞林CVD技術(shù)用于無機(jī)合成和材料制備時(shí)具有以下特點(diǎn)：

1）沉積反應(yīng)如在氣固界面上發(fā)生則沉積物將按照原有固態(tài)基底（又稱襯底）的形狀包覆一層薄膜。

2）涂層的化學(xué)成分可以隨氣相組成的改變而改變從而獲得梯度沉積物或得到混合鍍層。

3）采用某種基底材料，沉積物達(dá)到一定厚度以后又容易與基底分離，這樣就可以得到各種特定形狀的游離沉積物器具。

4）在CVD技術(shù)中也可以沉積生成晶體或細(xì)粉狀物質(zhì)，或者使沉積反應(yīng)發(fā)生在氣相中而不是在基底表面上，這樣得到的無機(jī)合成物質(zhì)可以是很細(xì)的粉末，甚至是納米尺度的微粒稱為納米超細(xì)粉末。

5）CVD工藝是在較低壓力和溫度下進(jìn)行的，通過派瑞林鍍膜技術(shù)可增強(qiáng)材料斷裂強(qiáng)度和抗震性能是在較低壓力和溫度下進(jìn)行的。

二、派瑞林鍍膜應(yīng)用

1、派瑞林（Parylene）磁性材料應(yīng)用

隨著信息產(chǎn)業(yè)的不斷發(fā)展，磁性元件越來越趨向于小型化，3-5㎜的軟磁芯，2-3㎜的稀土永磁材料，甚至尺寸更小的磁材都不斷被應(yīng)用，對(duì)磁材的防護(hù)提出了新的要求。小型軟磁芯作饒線器件時(shí)，經(jīng)聚對(duì)二甲苯涂敷后能耐1500-2000V甚至更高的電壓，由于聚對(duì)二甲苯摩擦系數(shù)低，磁材表面更滑溜，不傷線，更便于操作，稀土釹鐵硼永磁材料是一種高性能強(qiáng)磁材料，但這種材料在空氣中很不穩(wěn)定，尺寸較大的通常用電鍍或環(huán)氧電泳漆作防護(hù)涂層，尺寸較小的磁材，特別是環(huán)型和筒形的磁材，已不能用上述傳統(tǒng)方法實(shí)現(xiàn)可靠防護(hù)，滿足使用要求。派瑞林（Parylene）獨(dú)特的制備工藝和優(yōu)異性能相結(jié)合，使它能對(duì)小型超小型磁材進(jìn)行無薄弱點(diǎn)全涂敷的磁材可浸鹽酸10天以上不腐蝕，目前國(guó)際上小型超小型磁材，幾乎都采用派瑞林（Parylene）作絕緣和防護(hù)涂層。

2、派瑞林（Parylene）印制電路組件和元器件應(yīng)用

隨著表面貼裝技術(shù)發(fā)展和元器件的日益小型化，印制電路組件也日益向小型化和高密度方向發(fā)展，這給印制電路組件的三防措施提出了新的要求。派瑞林（Parylene）涂敷是由活性的對(duì)二甲苯雙游離基小分子氣在印制電路組件表面沉積聚合完成。氣態(tài)的小分子能滲透到包括貼裝件下面任何一個(gè)細(xì)小縫隙的基材上沉積，形成分子量約50萬的高純聚合物。它沒有助劑溶劑等小分子，不會(huì)對(duì)基材形成傷害，厚度均勻的防護(hù)層和優(yōu)異的性能相結(jié)合，使派瑞林（Parylene）涂層僅需0.02-0.05㎜就能對(duì)印制電路組件的表面提供非?？煽康姆雷o(hù)，甚至經(jīng)過鹽霧試驗(yàn)，表面絕緣電阻也不會(huì)有很大改變，而且較薄的涂層對(duì)元器件工作時(shí)所產(chǎn)生的熱量消散也非常有利。另外由于分子結(jié)構(gòu)對(duì)稱性較好，使它在較高的頻率下仍有較小的介質(zhì)損耗和介電常數(shù)，它的這種高頻低損耗特性使它為高頻微波電路的可靠防護(hù)創(chuàng)造了條件。

3、派瑞林（Parylene）微電子集成電路應(yīng)用

派瑞林（Parylene）的真空氣相沉積工藝不僅和微電子集成電路制作工藝相似，而且所制備的派瑞林（Parylene）涂層介電常數(shù)也低，還能用微電子加工工藝進(jìn)行刻蝕制圖，進(jìn)行再金屬化，因此派瑞林（Parylene）不僅可用作防護(hù)材料，而且也能作為結(jié)構(gòu)層中的介電材料和掩膜材料使用，經(jīng)派瑞林（Parylene）涂敷過的集成電路芯片，其25um細(xì)直徑連接線，連接強(qiáng)度可提高5-10倍。

4、派瑞林（Parylene）微電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）應(yīng)用

派瑞林（Parylene）能在0.2um厚時(shí)就完全沒有針孔，5um時(shí)就能耐1000V以上直流擊穿電壓，又是摩擦系數(shù)很低的一種自潤(rùn)滑材料，化學(xué)惰性和阻隔性能也好，因此在微電子機(jī)械系統(tǒng)中，除了作電介質(zhì)材料外，還用作微型傳動(dòng)機(jī)構(gòu)和微型閥門的結(jié)構(gòu)材料和防護(hù)材料。

5、派瑞林（Parylene）傳感器應(yīng)用

派瑞林（Parylene）在傳感器領(lǐng)域中的應(yīng)用，除了作絕緣介質(zhì)外，更多用作防護(hù)材料，它能耐酸、堿和有機(jī)溶劑，對(duì)水汽和鹽霧等惡劣環(huán)境有極好的阻隔防護(hù)能力，用極薄的涂層提供良好的防護(hù)。

6、派瑞林（Parylene）生物醫(yī)用電子應(yīng)用

派瑞林（Parylene）不僅電性能，防護(hù)性能好，而且生物相溶性也好，它已通過美國(guó)FDA論證，滿足美國(guó)藥典生物醫(yī)用材料VI類標(biāo)準(zhǔn)，被列為是一種可以在體內(nèi)長(zhǎng)期植入使用的生物醫(yī)用材料。

7、派瑞林（Parylene）光纖光纜接頭密封件應(yīng)用

光纖光纜接頭在使用中可能遇到各種不同的環(huán)境，通常使用含有硅橡膠密封圈的接頭使光纜與環(huán)境相隔離，經(jīng)派瑞林（Parylene）涂敷后的硅橡膠密封圈，能更好的適應(yīng)各種惡劣環(huán)境，防止硅橡膠老化，延長(zhǎng)密封圈的壽命。

綜上所述：經(jīng)派瑞林涂層后的產(chǎn)品具有非常好的絕緣強(qiáng)度和耐高低溫、抗酸堿腐蝕、潤(rùn)滑、防塵、防潮、防銹、防水、防霉菌、防反吸、防黏附、抗老化、生物相容性等作用，

百騰Penta將會(huì)持續(xù)為大家提供覆膜技術(shù)行業(yè)資訊和相關(guān)問題解答。百騰Penta開發(fā)的PVD真空鍍膜機(jī)，CVD真空鍍膜機(jī)，XeF2二氟化氙蝕刻機(jī)，真空脫氣爐，二氟化氙材料、派瑞林材料，提供派瑞林(parylene)納米涂層加工。并可根據(jù)不同需求設(shè)計(jì)定制真空鍍膜設(shè)備和與其配套的相關(guān)設(shè)備系統(tǒng)，幫助企業(yè)產(chǎn)品提升更好防護(hù)品質(zhì)。